Procesamiento de recubrimiento resistente al grabado con ventosa electrostática

Parte recubierta: ventosa electrostática
Material de revestimiento: óxido de itrio
Proceso de recubrimiento: pulverización de plasma, equipos importados, pulverización con brazo robótico.
Espesor del revestimiento: 100–300 μm

Utilizando tecnología avanzada de pulverización de plasma y materiales cerámicos en polvo, se aplica un recubrimiento resistente al grabado a la superficie de la ventosa electrostática en equipos de grabado de semiconductores. Destinado a mejorar la resistencia al grabado, la resistencia a la erosión y la resistencia al desgaste de estos componentes para garantizar la estabilidad del proceso de grabado de obleas y la confiabilidad de la calidad del producto.

Ventajas del producto: después del tratamiento por pulverización de cerámica con plasma, la resistencia al grabado y la resistencia al desgaste de la superficie de la ventosa electrostática mejoran significativamente. Durante los procesos de grabado de larga duración, los componentes mantienen un buen rendimiento, lo que reduce el riesgo de contaminar la oblea grabada, mejora la estabilidad del proceso de grabado, aumenta efectivamente el rendimiento del producto y extiende la vida útil del equipo.

Ventajas de la empresa: Equipos de pulverización de plasma importados; 10 años de experiencia en la producción de recubrimientos por pulverización; Base de producción de 20.000 m²; técnicos profesionales de recubrimiento por pulverización; 10 líneas de producción de recubrimiento por aspersión; sala limpia y sala de inspección de calidad.